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長春市新光氣體有限公司
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高氧 化學氣相沉積等,40L鋼瓶、4L鋼瓶 純度≥99.995%
氣體主要用于半導體器件的熱氧化、擴散、化學氣相沉積及等離子蝕刻等工藝,還可用于光導纖維、彩色顯像管制造并作標準氣、校正氣和零點氣等。